产品介绍：

名    称：可编程匀胶机HC150PE

型    号：HC150PE

应    用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

产品概述：

HC150PE可编程匀胶机，采用分体式结构设计，高分子HDPE耐腐蚀内腔，4.3英寸触摸屏，工业级直流电机及高级PLC控制，直观清晰的程序界面与设计，美观大方。适合涂胶处理Ø 5~150mm圆晶尺寸基片。
　　该匀胶机结构紧凑、简单易用，可编程实现单步旋涂和多步编程旋涂，尺寸小巧，可放入手套箱内操作。HDPE高分子材料旋涂内腔，美观耐腐蚀，经久耐用。

性能参数：

• 适用晶元尺寸范围：Ø 5~150mm；

• 旋涂速度：100~12000rpm；

• 转速分辨率：1rpm；

• 旋涂加速度：100-30000rpm/s；

• 最大旋涂时间：3000s；

• 旋涂时间精度：0.1s；

• 内腔直径212mm，内腔采用独特的凹面防溅设计；

• 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程100组程序，每组程序10步；

• 电源输入：AC200-230

产品特点：

                             HDPE高分子耐腐蚀内腔

              不同尺寸的载物盘

产品外型尺寸：
　   310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)

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