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 SC100-SE高精密匀胶机 当前位置:首页>产品展示  
 


产品介绍:


  称:高精密匀胶机

  号:SC100-SE

原产地:

  用:SC100-SE标准型精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。

 

产品概述:


  SC100-SE标准型精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
  不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中领先的最大达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。

 

性能参数:


l  主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)

l  旋涂程序:最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1

l  转动速度:0-10,000rpm(更高速可选)

l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)

l  马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm

l  转速调节精度<1rpm

l  重复性< 1rpm

l  工艺时间设定: 0-3,000 sec/step

l  时间设置精度:0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm8”圆晶)

l  旋涂作业均匀性:< ±3% 6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)

 

产品特点:


l  最新的内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。

l  7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密闭碗设计可适合各种材料匀胶工艺。

l  标准配置转速10000rpm,并可根据用户需要进行定制。

l  采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

l  机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,永不生锈,便于清洗。

l  排风和抽气系统位计于载片台之底部(以利于排风效率和匀胶均一性)。

l  透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

 

 

 

产品外型尺寸:
      
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构
   306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构

 

 

 

 

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