产品介绍：

名   称：高精密匀胶机

型    号：SC200-SE

原产地：

应    用：　SC200-SE精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。

产品概述：

　　SC200-SE精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。

　　不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别400瓦伺服电机系统，采用于track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中领先的最大达到50000rpm/s的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。

性能参数：

l  主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

l  旋涂程序：最多存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒

l  转动速度：0-5,000rpm（更高速可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm

l  旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s

l  马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm

l  转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm

l  工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圆晶）

l  旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

产品特点：

l  最新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

l  7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。

l  标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制。

l  采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

l  机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。

l  透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光刻胶的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

产品外型尺寸：613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)

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